Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

SILICON MATERIALS REQUIREMENTS FOR VLSI AND ULSI CIRCUITS AND THE CHARACTERIZATION TOOLS NEEDED TO ASSURE THEY ARE MET

W. Mu ,  ay Bullis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Silicon wafer상에 초고집적회로 형성을 위한 무전해 구리 도금 연구

최경수 ,  민봉기 ,  최순돈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

Applications of Deep Level Transient Spectroscopy for silicon wafering and device processes

K. Ryoo ,  H. Kim ,  G. Suh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Single Crystal Silicon Ingot of the Optimum Axial Resistivity for Solar Cell

John Chunsoo Lim

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10

CZ 실리콘 표면 상태에 미치는 산소 농도 및 열처리 영향 ( The Effects of Oxygen Concentration and Heat Treatment on the Surface Quality of CZ Silicon )

양두영 ,  김오현 ,  이희국

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

CZ 실리콘에서 산소 석출 현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션

고봉균 ,  최성욱 ,  정홍일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Bipolar Silicon Wafer Processing

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

WAFER SCALE CHIP DESIGN AND INTEGRATION IN ULSI AGE

Manjin. J. Kim

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

Wafer Scale Chip Design and Integration in ULSI Age

Man Jin J.Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

VLSI/ULSI 반도체 소재에 대한 표면분석 기술의 동향과 전망

이병헌

전자진흥

1989 .01

450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사

김성일 ,  우태기 ,  김춘근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

An Emissivity-Invariant Condition of Silicon Wafers and Its Application to Radiation Thermometry

Toh ,  u Iuchi ,  Atsushi Gogami

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2009 .08

Dual-texturing of silicon wafer with polymer blend films as a m ask and metal precursor for high efficiency silicon solar cell

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

ION IMPLANTATION ON INDUSTRIAL CZ P-TYPE SILICON FOR SCREEN PRINTED SOLAR CELLS

Ji-sun Kim ,  Ji-soo Kim ,  Yeon-hee Hwang 외 3명

AFORE

2013 .11

ULSI Cell Technology

윤찬수 ,  황창규

전자공학회지

1992 .05

Investigation of Grown-In Defects Distribution in CZ Single Crystal

황돈하 ,  이보영 ,  유학도

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Silicon Pressure Sensor

최시영

대한전자공학회 학술대회

1997 .01