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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
박종식 (엠이엠씨코리아) 이재민 (호서대학교) 양승현 (호서대학교) 이석원 (호서대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2003년 하계종합학술대회
발행연도
2003.7
수록면
2,799 - 2,802 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

단결정 실리콘 성장기의 자동 직경 제어
박종식 ,  이재민 ,  양승현 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2003.07 학술대회자료

2002

긴 시간지연을 갖는 단결정 실리콘 성장기(Crystal Grower-FF CZ150)의 자동 직경 제어 시스템
박종식 ,  김종훈 ,  양승현 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시스템 구성
Ⅲ. 제어기의 설계 및 적용
Ⅳ. 자동직경 제어기의 실험 결과
Ⅴ. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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