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이용수
1995
요약
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
5. 참고문헌
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열처리조건이 Thermal Donors 의 발생과 CZ-Si의 전기적 특성에 미치는 효과 ( The Effect of Annealing Conditions on Formation of the Thernal Donors and Electrical Properties of CZ-Si )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
Cz-Si wafer 내부에 발생하는 Thermal donor의 전기적 특성에 관한 연구 ( The study on a electrical properties of the Thermal Donors in Cz-Si )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Cz-Si wafer 내부에 발생하는 Thermal donors의 전기적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
CZ 실리콘 표면 상태에 미치는 산소 농도 및 열처리 영향 ( The Effects of Oxygen Concentration and Heat Treatment on the Surface Quality of CZ Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
CZ 실리콘에서 산소 석출 현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
급속 열처리시 Co/Ti/Si(100)계를 이용한 정합 Co$Si_{2}$형성기구 및 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Investigation of Grown-In Defects Distribution in CZ Single Crystal
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
열처리 조건에 따른 Al-Si 접촉
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .07
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
Present Status of Buried Contact Solar Cell Research in Strategic Energy Research Institute (SERI)
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2004 .10
급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
Influence of Silicon Content and Heat Treatment for Thermal Properties in Al-Si Binary System
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CHARACTERIZATION OF BORON-DOPED CZ SILICON MATERIAL THROUGH SIMULATED NMOS THERMAL CYCLE
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합
한국재료학회지
2001 .01
EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING WHEN USED FOR ANNIHILATION OF THERMAL DONORS IN SILICON ON SUBSEQUENT OXYGEN PRECIPITATION
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
The thermal annealing effect on electrical performances of a-Si:H TFT fabricated on a metal foil substrate
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007 .01
급속 열처리공정 ( RTA ) 에 의한 a-Si / Ti / a-Si 다층구조의 TiSi2 형성에 관한 연구 ( Titanium Silicide Formation of the a-Si / Ti / a-Si Multilayer by Rapid Thermal Annealing )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
A Study on Blister Formation Electrical Properties of a-Si/c-Si Structure under the Annealing Conditions
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
Cz-TPD를 음극접합층으로한 OELD의 발광특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
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