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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.2 No.2
발행연도
2007.6
수록면
274 - 279 (6page)

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This study focuses on the enhancement of maskless photolithography as well as the peptide synthesis application with single crystalline silicon micromirrors. A single crystalline silicon micromirror array has been designed and fabricated in order to improve its application to the peptide synthesis. A micromirror rotates about ± 9° at the pull-in voltage, which can range from 90.7 V to 115.1 V. A 210㎛-by-210 ㎛ micromirror device with 270 ㎛ mirror pitch meets the requirements of an adequately precise separation for peptide synthesis. Synthetic 16 by 16 peptide array corresponds to the same number of micromirrors. The large size of peptide pattern and the separation facilitate biochip experiments using fluorescence assay. The peptide pattern has been synthesized on the GPTS-PEG200 surface with BSA-blocking and thereupon the background was acetylated to reject non-specific bindings. Hence, an averaged slope at the pattern edge has been distinguishably improved in comparison to patterning results from an aluminum micromirror.
#Aluminum Micromirror #Averaged Slope #GPTS-PEG200 #Peptide Synthesis #Single Crystalline Silicon Micromirror Array

목차

Abstract
1. Introduction
2. Micromirror Design
3. Maskless Photolithography System
4. Peptide Synthesis Process
5. Peptide Synthesis Results
6. Discussion
7. Conclusion
Acknowledgements
References

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1999. / Maskless fabrication of light-directed oligonucleotide microarrays using a digital micromirror array 17 : 974978 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / Aug.21-242006 / Spatial light modulators for maskless lithography : 150 ~ 151 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Protein patterning by virtual mask photolithography using a micromirror array 13 (1) : 18 ~ 25 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2003. / Micromirror array for protein micro array fabrication 13 (3) : 474 ~ 481 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2006. / Characterization of a single-crystal silicon micromirror array for maskless UV lithography in biochip applications 16 (11) : 2360 ~ 2368 google schola

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