마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작

김동현 ,  박용철 ,  박승호 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작

김동현 ,  박용철 ,  박승호 외 3명

대한기계학회 논문집 B권

2009 .10

A Two-Step Micromirror for Low Voltage Operation

Yong-Ha Hwang ,  Seungoh Han ,  Byung-Kab Lee 외 2명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2005 .12

Micromirror Array의 Yield 측정을 위한 방법 개발

조광우 ,  김호성 ,  신형재

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

LITHOGRAPHIC MATERIALS AND PROCESSES FOR VLSI

Michael Hatzakis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Thin Film Micromirror Array 검사 장치의 교정 ( Calibration of a Thin Film Micromirror Array Inspection System )

이은숙 ,  이병욱

한국통신학회논문지

1999 .05

Improvement of Maskless Photolithography of Bio Pattern with Single Crystalline Silicon Micromirror Array

Yun-Ho Jang ,  Kook-Nyung Lee ,  Jae-Hyoung Pa 외 4명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2007 .06

S자형 들보에 의해 지지되는 micromirror의 제작 및 동작특성 분석

金鍾國 ,  金鎬成 ,  愼炯宰

전기학회논문지 C

1999 .11

Fabrication of Micromirror Array with Vertical Spring Structure

Jong-Woo Shin ,  Yong-Kweon Kim ,  Bum-Gyu Choi

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

Micromirror based Lithography Simulation System based on Overlay Intensity Basis

Kiwon Pa ,  k ,  Jaeman Choi 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

A 32 by 32 Electroplated Metallic Micromirror Array

Jeong-Bong Lee

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2002 .12

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

마이크로 거울의 구동을 위한 Ni 와 SiN_x 박막을 활용한 비틀림형 열구동 시스템에 대한 연구

박용철 ,  김동현 ,  박승호

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .11

Non-Photoresist Lithographic Materials: From Assisting to Enabling New Processes

Ralph R. Dammel

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

전자기 구동 2 축 스캔 마이크로미러 개발

정현석 ,  오승훈 ,  김종민

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

Lithographic Characteristics of the Exposure Technology Based on the Dummy Diffraction Mask

Yong Ho Oh ,  Hyung Joun Yoo

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Fabrication of a Hydrophilic Composite Mold and its Application for Various Soft Lithographic Techniques

Nae Yoon Lee ,  Min Jung Lee ,  Ju Ri Lim 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

마이크로 미러의 광학적 특성 측정

김도형 ,  김호성

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Soft-lithographic preparation of hybrid Sol-Gel waveguide

령티빛 ,  정유리 ,  허지현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

마이크로미러의 스퀴즈 댐핑 효과에 관한 연구

오승훈 ,  김종민

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06