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이용수
Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. DESIGN
Ⅲ. FINITE ELEMENT MODELING FOR RESONANT FREQUENCIES
Ⅳ. FABRICATION
Ⅴ. MICROMIRROR ACTUATION AND MECHANICAL CHARACTERIZATION
Ⅵ. THEORETICAL MECHANICAL MODELING
Ⅶ. OPTICAL CHARACTERIZATION
CONCLUSIONS
REFERENCES
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