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학술저널
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저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.1 No.2
발행연도
2001.6
수록면
132 - 139 (8page)

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목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. MICROMIRROR ARCHITECTURE AND OPERATING PRINCIPLE
III. CALCULATION OF THRESHOLD VOLTAGE OF MICROMIRROR & NON-UNIFORM FACTORS
IV. STICKING OF MIRROR PLATE TO THE SUBSBATE
V. CONCLUSIONS
REFERENCES

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