마이크로 거울의 구동을 위한 Ni 와 SiN<SUB>x</SUB> 박막을 활용한 비틀림형 열구동 시스템에 대한 연구

박용철; 김동현; 박승호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박용철 (홍익대학교) 김동현 (홍익대학교) 박승호 (홍익대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2009.11

수록면: 2,990 - 2,994 (5page)

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MEMS technology is derived from the semiconductor technology and recognized to be a core technology for future towards smartness and smallness. This study reports the design and fabrication of a novel micro-mirror actuation system. The actuating mechanism for driving the micro-mirror combines two paralleled bimorph actuators bending in opposite directions for rotational control of the micro-mirror. Each actuator is a bimetal thermal expansion actuator consisting of Ni and SiN<SUB>x</SUB> thin films. Operation of the actuation system shows vertical displacements about 33μm for each actuator and tilting angles about 22° for the micromirror at input voltages about 1V

#Micromirror(마이크로 거울) #Thermal Actuator(열 구동기) #Twisting-Type(비틀림형)

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