Single crystalline silicon micyomirror array for data communication applications

장윤호; 이국녕; 김용권

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 장윤호 (서울대학교 전기.컴퓨터 공학부) 이국녕 (서울대학교 화학공학부) 김용권 (서울대학교 전기.컴퓨터 공학부)

저널정보: 한국정보통신설비학회 한국정보통신설비학회 학술대회 한국정보통신설비학회 2003년도 하계학술대회

발행연도: 2003.1

수록면: 93 - 95 (3page)

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We have designed and fabricated a micromirror array using single crystalline silicon (SCS) for data communication applications. The mirror array has $16{\times}16$ micromirrors and each mirror has $120{\mu}m{\times}100{\mu}m$ reflective surface. Electrostatic force was adopted as a driving mechanism. The spring dimensions were determined using relationship between spring dimensions and driving voltage. The designed tilting angle was $9.6^{\circ}$, and measured tilting angle according to applied voltages were experimented. The response time was measured using He-Ne laser and position sensitive diode (PSD), and lifetime was checked for reliability proof.

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