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이용수
Abstract
Ⅰ. INTRODUTION
Ⅱ. FABRICATION
Ⅲ. FABRICATED MIRROR STRUCTURE
Ⅳ. CHARACTERISTICS OF MIRROR
Ⅴ. CONCLUSION AND FUTURE WORKS
Ⅵ. REFERENCES
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대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
Thin Film Micromirror Array 검사 장치의 교정 ( Calibration of a Thin Film Micromirror Array Inspection System )
한국통신학회논문지
1999 .05
Characteristics measurement of fabricated micromirror array with vertical springs
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 논문집 B권
2009 .10
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
A 32 by 32 Electroplated Metallic Micromirror Array
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2002 .12
Improvement of Maskless Photolithography of Bio Pattern with Single Crystalline Silicon Micromirror Array
Journal of Electrical Engineering & Technology
2007 .06
S자형 들보에 의해 지지되는 micromirror의 제작 및 동작특성 분석
전기학회논문지 C
1999 .11
A Two-Step Micromirror for Low Voltage Operation
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2005 .12
Novel Fabrication Process of Vertical Spring for Micro Mirror
Journal of Electrical Engineering and Information Science
1998 .04
Novel Fabrication Process of Vertical Spring for Micro Mirror
Journal of Electrical Engineering and information Science
1998 .04
마이크로 거울의 구동을 위한 Ni 와 SiNx 박막을 활용한 비틀림형 열구동 시스템에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .11
Digital fabrication of aspheric lens arrays through optical maskless lithography using digital micromirror devices
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
Design and fabrication of a single crystalline silicon micromirror array for biochip fabrication systems
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
Fabrication of a large scanning micromirror array using vertical combdrive actuator
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
전자기 구동 2 축 스캔 마이크로미러 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
Single crystalline silicon micyomirror array for data communication applications
한국정보통신설비학회 학술대회
2003 .01
Micromirror based Lithography Simulation System based on Overlay Intensity Basis
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
Uniformity Improvement of Micromirror Array for Reliable Working Performance as an Optical Modulator in the Maskless Photolithography System
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2001 .06
Lithographic Data Generation Algorithm based on Micromirror Cell Decomposition
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
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