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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Design
3. Fabrication
4. Results
5. Conclusion
Acknowledgement
[References]
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마이크로미러를 사용한 바이오칩의 선택적 표면 개질을 위한 광변조 실험
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
Design and fabrication of a micromirror using silicon bulk micromachining for out-of-plane right angle reflection
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
Characteristics measurement of fabricated micromirror array with vertical springs
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .11
알루미늄 핀-조인트를 사용한 마이크로 미러의 제작과 측정
전기학회논문지 C
2000 .08
나노섬유를 포함한 마이크로 바이오칩 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Single crystalline silicon micyomirror array for data communication applications
한국정보통신설비학회 학술대회
2003 .01
Fabrication of a large scanning micromirror array using vertical combdrive actuator
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
Fabrication of Micromirror Array with Vertical Spring Structure
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
대형화상 표시장치용 마이크로 미러 어레이의 제작과 특성 측정 ( Fabrication and Mesurement of Micro Mirror Array for Large Screen Display )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
대형화상 표시장치용 마이크로 미러 어레이의 제작과 특성 측정 ( Fabrication and Mesurement of Micro Mirror Array for Large Screen Display )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1998 .01
Improvement of Maskless Photolithography of Bio Pattern with Single Crystalline Silicon Micromirror Array
Journal of Electrical Engineering & Technology
2007 .06
홀로그램 메모리 응용을 위한 45도 구동 마이크로 미러 어레이
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
마이크로 미러의 광학적 특성 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
전기화학적 바이오칩의 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
바이오칩 분석 장비를 위한 광학 시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
LIDAR 시스템 적용을 위한 전자기 구동 마이크로미러의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
광디스크용 마이크로미러의 설계 및 제작에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .11
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
대한기계학회 논문집 B권
2009 .10
스캐닝 마이크로미러를 이용한 거리 측정 시스템
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
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