Design and Fabrication of Self-aligned Parallel-plate Type Micromirror Array

유병욱; 김민수; 진주영; 전진아; 박재형; 김용권

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저자정보: 유병욱 김민수 진주영 전진아 (부산대학교) 박재형 김용권

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 대한전기학회 전기물성·응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집

발행연도: 2007.11

수록면: 150 - 151 (2page)

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We present an one-axis parallel-plate type of bulk micromachined torsional micromirror array with single crystalline silicon (SCS) fabricated on the glass substrate. Structurally, bottom electrodes (amophous silicon) in this mirror are DRIEed along the aluminum mirror patterns on SCS, which are self-aligned with mirror plates. Tracing the history of the micromirror study, we found that few papers have been published on research for uniform driving voltages based upon the ... 전체 초록 보기

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