Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제

임하진 ,  강상열 ,  황철성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석

최종완 ,  최영민 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

EFFECTS OF THE SUBSTRATE TEMPERATURE AND $O_2$/Ar RATIO ON THE PROPERTIES OF Ru$O_2$ FILMS

Choi ,  Choi ,  J.Y. 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성

이호근 ,  배수민

Progress in superconductivity

2009 .01

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가

권세훈 ,  정성준 ,  정영근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

$Ru(EtCp)_2$ precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막 특성 및 Ru precursor의 분해 특성 분석

최종완 ,  홍종인 ,  노광수

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

NMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성

홍신남 ,  이충근 ,  강영섭

전기전자재료학회논문지

2004 .01

다양한 열처리 분위기에 따른 SBT 커패시터의 전기적 특성

김진사 ,  조춘남 ,  홍진웅 외 4명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Enhanced Oxygen Diffusion Barrier Properties of Hybrid Ru-TiN Thin Films Prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Se-Hun Kwon ,  Seong-Jun Jeong ,  Kwang Ho Kim 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Bi⁴Ti₃O12 박막의 구조적 특성과 유전 특성에 미치는 산소 열처리 효과

차유정 ,  성태근 ,  남산 외 3명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

(Ba,Sr)$TiO_3$ 용 (Ba,Sr)$RuO_3$ 전극의 산소 확산 평가 및 (Ba,Sr)RuO$_3$/Ru Bilayer의 도입

홍덕화 ,  강중서 ,  김현철 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

CF4/O2 Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응

임규태 ,  김동표 ,  김경태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Post Ru CMP Cleaning for Alumina Particle Removal

P ,  asad ,  Y. Nagend 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구

김영길 ,  이재의 ,  조성준 외 1명

공업화학

1994 .01