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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍
발행연도
2009.5
수록면
182 - 183 (2page)

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플라즈마 원자층 증착법을 이용하여 Ru-TiN 박막을 합성하였다. 박막 내 Ru의 함량은 Ru의 unit-cycle의 수에 따라 선형적으로 증가하였으며, Ru 함량이 증가함에 따라 박막의 비저항을 3700 μΩㆍ㎝에서 190 μΩㆍ㎝까지 자유롭게 조절할 수 있었다. Ru의 함량이 0 ... 전체 초록 보기

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