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이용수
1. 서론
2. 본론
3. 결과 요약
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그리드시스템을 이용한 폴리이미드(PI) 기판 위에 성장시킨 구리박막에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
고집적 회로용 전해 도금 구리의 형성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
화학공학
2009 .01
구리박막의 증착조건이 Cu/Cr 박막과 폴리이미드 사이의 접착력에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .05
반도체 구리배선을 위한 Cu 도금층의 미세조직
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Cu-Cr합금 박막의 구리 전기도금을 위한 전처리 및 에칭 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
1993 .06
구리 도금액 내 유기첨가제가 구리 미세배선 형상에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Plasma를 통한 기판 전처리가 구리박막 성장에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
구리 도금층을 이용한 미세 열유속 센서
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
동 도금 수세 폐수로부터 구리 분말 제조에 관한 연구
한국표면공학회지
2003 .04
동 도금 수세 폐수로부터 구리 분말 제조에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
유연기판 위 박막구리 배선의 비틀림 피로거동
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
새로운 플라즈마 식각 방법에 의한 금속배선 재료인 구리의 패턴 형성에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
구리 전기도금막에서 self annealing에 미치는 additive의 효과
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
고온에서의 폴리이미드/구리의 접착 현상에 관한 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2000 .04
Seed Layer 없는 반도체 소자의 구리배선을 위한 도금에 관한 연구
기타자료
2005 .09
전해도금법으로 증착한 Cu-Sn 합금막의 배선특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Polyimide Based Flexible and Transparent Superhydrophobic Patterned Substrate
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
패턴된 기판에 금속 배선 형성
한국표면공학회지
1995 .10
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