고집적 회로용 전해 도금 구리의 형성

김동찬; 이병일; 주승기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김동찬 (서울대학교 재료공학부) 이병일 (서울대학교 재료공학부) 주승기 (서울대학교 재료공학부)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 129 - 129 (1page)

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김동찬

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이병일

소속기관 서울대학교 재료공학부

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 26 이용수 32

주승기

소속기관 서울대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 복합학 > 과학기술학

논문수 65 이용수 37

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