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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 수치 해석결과
4. 실험결과
5. 결론
후기
참고문헌
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Metallization
대한전자공학회 단기강좌
1982 .01
새로운 플라즈마 식각 방법에 의한 금속배선 재료인 구리의 패턴 형성에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
화학공학
2009 .01
폴리이미드 필름의 초발수화를 통한 금속배선화 공정 개발
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
금속배선의 신뢰성을 monitoring하는 새로운 기술
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Sputtering과 Metallization
섬유기술과 산업
2009 .01
CaAs 공정중 금속막 형성기술 연구 ( Metallization Technology in GaAs Process )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
집적회로 금속 배선에서의 전기적 이동 현상 시뮬레이션에 관한 연구 ( A study on the Simulation of Electronigration in Metallization of Integrated Circuits )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
Character of Copper Films on Molybdenum Substrate by Addition of Titanium in an Advanced Metallization Process
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
이중 금속배선 공정에 응용되는 절연막 재질의 특성 분석 ( An Experimental Analysis of Double Metallization Process Using VArious Insulatoor Materials )
대한전자공학회 학술대회
1981 .01
New process for the Magnesium Metallization
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Metallization Technology in DRAM
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
GaAs 공정중 금속막 형성기술 연구 ( Metallization Technology in GaAs Process )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
통합 배선 시스템
전기의세계
1994 .10
배선 기술 동향
전자공학회지
2001 .08
초발수 기판의 친수 패터닝을 이용한 금속배선화
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
Metallization of Si ( 111 ) by Magnesium Layer
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
전 공정 프린팅으로 제작한 배선 함몰형 유연 기판
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
연산회로 최적화를 위한 배선의 재배열
한국정보과학회 학술발표논문집
2002 .04
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