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저자정보
최재석 (연세대학교) 유정훈 (연세대학교) 홍상준 (삼성전자) 김태현 (삼성전자) 이성진 (삼성전자)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2005년도 공동 심포지엄 자동차 구조 안전 및 CAE
발행연도
2005.11
수록면
219 - 226 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

존슨-라벡 타입 정전척의 물리적 모델링 및 특성 파악
최재석 ,  유정훈 ,  홍상준 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료
존슨-라벡 타입 정전척의 물리적 모델링 및 특성 파악
최재석 ,  유정훈 ,  홍상준 외 2명 한국자동차공학회 Symposium 2005.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Generally, Johnsen-Rahbek(J-R) type electrostatic chuck(ESC) generates higher attractive force than Coulomb type ESC. The attractive force in J-R type ESC is caused by the high electrical resistance which occurs in contact region between semiconductor wafer and dielectric layer. This research tries the simple geometrical modeling of contact surface and simulates contact resistance, attractive force and response time according to the variation of contact surface shape. In the latter half of this research, the simulation for pin chuck is accomplished using similar surface modeling and the comparison between pin chuck and general flat chuck is made in aspects of the attractive force and the response time.
#Johnsen-Rahbek(존슨-라벡) #Electrostatic Chuck(정전척) #Electrostatic Force(정전기력) #Contact Resistance(접촉 저항) #Pin Chuck(핀척)

목차

Abstract
1. 서론
2. 물리적 모델링
3. 핀척(pin chuck)의 물리적 모델링
4. 결론
후기
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