정전부상시스템의 설계

전종업

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 전종업

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.6

발행연도: 2008.6

수록면: 80 - 91 (12page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Electrostatic forces have an advantage of directly levitating not only non-ferromagnetic metals but also semi-conductors, such as silicon wafers, and dielectric materials like glass. This paper describes the characteristics of electrostatic forces and electrostatic suspension system, followed by the basic principle of 1-DOF(degree of freedom) electrostatic suspension system, and the structures of electrodes-for-suspension and voltage supplying methods to the electrodes in 1-DOF model. This paper also discuss about the minimum number of electrodes needed to control n-DOF motion of the suspended object and represents some desirable electrode patterns to stabilize the 6-DOF motion of the object. In the near future, electrostatic suspension system is expected to be applied to industrial manufacturing processes, for example, to the manufacture of semiconductor devices and/or flat panel display devices.

#Electrostatic suspension(정전부상) #Electrostatic force(정전기력) #Contactless support(비접촉 지지) #Silicon wafer(실리콘 웨이퍼) #Flat panel display(평면 디스플레이)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

전종업

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 52 이용수 4,042

이 논문과 함께 이용한 논문

C형 영구자석을 레일로 활용한 자기부상 이송체의 기본 설계를 위한 해석

박동용 , 백윤수 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .05

Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작

백경록 , 전종업 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005 .11

베르누이 부상 장치의 최적화에 대한 연구

남종순 , Zhang Guang , 김희동 대한기계학회 춘추학술대회 2013 .12

베르누이 부상에 관한 기초적 연구

남종순 , Md. Alim Iftekha , Rasel 외 2명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2012 .05

베르누이 원리를 이용한 비접촉 이송장치에 관한 연구

고현준 , 김종형 , 김준현 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009 .06

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-014749650

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)