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축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
축전 결합 플라즈마 소스 안에서의 Sheath 렌즈 효과의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
전자와 이온의 에너지 분포 함수를 고려한 축전 결합형 플라즈마 장비의 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대면적 고주파 축전결합플라즈마원(CCP sources)에 대한 모델링 및 전산모사 현황 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Ar 전자빔 플라즈마에서 외부 그리드 전압이 플라즈마 변수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
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