Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상

채수항; 이헌수; 장홍영

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저자정보: 채수항 (한국과학기술원) 이헌수 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 279 - 279 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

Ar 전자빔 플라즈마에서 외부 그리드 전압이 플라즈마 변수에 미치는 영향

채수항 , 박기정 , 안상혁 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상

채수항 , 이헌수 , 장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교

채수항 , 이헌수 , 박민 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

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채수항

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 133

이헌수

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 19 이용수 808

장홍영

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 120 이용수 3,141

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