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축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대면적 고주파 축전결합플라즈마원(CCP sources)에 대한 모델링 및 전산모사 현황 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
대면적 축전결합형 플라즈마원에서 도파관 모델을 이용한 플라즈마 특성 분포의 정상파 패턴 형성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
축전 결합 플라즈마 소스 안에서의 Sheath 렌즈 효과의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
O₂와 Ar의 축전 결합 플라즈마에서 전자와 이온 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
대면적 플라즈마 공간균일도 진단에 활용 가능한 여기온도 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
인접한 대기압 저온 플라즈마 젯 간 결합에 의한 플라즈마 포커싱 현상과 그 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
유도결합 플라즈마(ICP)의 E - H mode 전이 때 축전전기장과 유도전기장의 분포에 따른 플라즈마 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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