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저자정보
이성현 (인제대학교) 신주용 (인제대학교) 박주홍 (인제대학교) 최경훈 (인제대학교) 송한정 (인제대학교) 이제원 (인제대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
221 - 221 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
이성현 ,  신주용 ,  박주홍 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
이성현 ,  박동균 ,  박주홍 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

2009

확산펌프 기반의 BCl₃ 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각
이성현 ,  박주홍 ,  노호섭 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2009.07 학술저널

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