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유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar / CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Ar/N₂ 혼합가스 비율에 따른 대기압 저온 플라즈마제트의 플라즈마 전파 속도 및 전자 온도 조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
O₂와 Ar의 축전 결합 플라즈마에서 전자와 이온 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체 방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
대기압 플라즈마 제트 전극 구조에 따른 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대기압 저온 아르곤 플라즈마 제트의 분광 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
인접한 대기압 저온 플라즈마 젯 간 결합에 의한 플라즈마 포커싱 현상과 그 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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