The Effect on Electrical Property of Etched Magnetic Tunnel Junction Stack in Cl₂/Ar and HBr/Ar plasma

Su Ryun Min; Han Na Cho; Seung Pil Choi; In Jun Hwang; Kee Won Kim; Chee Won Chung

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Su Ryun Min Han Na Cho Seung Pil Choi In Jun Hwang Kee Won Kim Chee Won Chung

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 ISAMMA 2007 The 1st International Symposium on Advanced magnetic materials

발행연도: 2007.5

수록면: 132 - 132 (1page)

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2007

The Effect on Electrical Property of Etched Magnetic Tunnel Junction Stack in Cl₂/Ar and HBr/Ar plasma

Su Ryun Min , Han Na Cho , Seung Pil Choi 외 3명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2007.05 학술대회자료

Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stack Using a High Density Plasma in a HBr/Ar Gas

Su Ryun Min , Han Na Cho , Seung Pil Choi 외 3명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2007.05 학술대회자료

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