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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(2)호
발행연도
1999.12
수록면
541 - 547 (7page)

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Taguchi가 제안한 강건설계 및 연구자의 주관에 의존하는 통상적인 실험방법을 병행하여 공정변수들이 식각 특성에 미치는 영향을 분석하고 적정조건을 도출하였다. 연구 결과 ICP 전력과 공정압력이 식각특정에 가장 큰 영향을 미치는 변수임을 알 수 있었다. ICP 전력과 bias 전압의 증가는 식각속도를 증가시키고 표면 상태를 악화시키며, 공정압력의 증가는 식각속도를 감소시키고 수직도를 개선하며, 시료온도의 증가는 표면거칠기와 수직도를 감소시켰다. O₂의 첨가는 표면 반응물의 생성을 억제하여 표면을 미려하게 하였으나 첨가량의 증가에 따라 식각속도는 감소하였다. 결과적으로 ICP 전력 800 W, bias 전압 -150 V, 산소분율 15%, 공정압력 8 mTorr, 시료온도 160℃의 조건에서 약 4.5 ㎛/min의 매우 큰 식각속도를 얻었으며, 소자제작에 필요한 측벽수직도와 표면미려도를 같이 고려한 경우 ICP 전력 600 W, bias 전압 -100 V, 10% O₂, 공정압력 6mTorr, 시료온도 180℃의 조건에서 분당 약 0.15㎛ /min의 식각속도와 평탄한 표면을 얻었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

후기

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