Advanced Dry Etching of GaAs in High - Density Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas

임완태 ,  백인규 ,  정필구 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Etching characteristics of ZnO thin films using inductively coupled BCl₃ / Ar and Cl₂ / Ar plasma

S-W. Na ,  M-H. Shin ,  Y-M. Chung 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Comparison of Selective and Non - selective Dry Etching of GaAs - based Semiconductors in Planar Inductively Coupled BCl₃ based Plasmas

류현우 ,  유승열 ,  장수욱 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Investigation of GaAs over AlGaAs and InGaP Selective Dry Etching in Planar Inductively Coupled Plasmas with BCl₃ / SF6 based Chemistries

유승열 ,  장수욱 ,  류현우 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Etch Characteristics of MgO Thin Films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar, and CH4/Ar Plasmas

Il Hoon Lee ,  Tea Young Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Comparison of High Density Plasma Etching of AlGaAs / GaAs and InGaP / GaAs in Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas

백인규 ,  임완태 ,  정필구 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

BCl₃ / O₂/ Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 InP의 건식 식각에 관한 연구

이병택 ,  박철희 ,  김성대 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1999 .12

In - situ Plasma Diagnosis with an Optical Emission Spectroscopy during BCl₃- based High - Density Inductively Coupled Dry Etching

조관식 ,  임완태 ,  백인규 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of MgO Thin Films Using a CH₄/Ar Plasma

Hwa Won Lee ,  Eun Ho Kim ,  Tae Young Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Etching characteristics of Ta and TaN using Cl2 / Ar inductively coupled plasma

M. H. Shin ,  S. W. Na ,  N.-E. Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Etch Characteristics of IrMn Thin Films Using an Inductively Coupled Plasma of CH₃OH/Ar

Y. B. Xiao ,  E. H. Kim ,  S .M. Kong 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Inductively coupled plasma etching of chemical vapor deposition amorphous carbon in O₂/N₂/Ar chemistries

H.J. Lee ,  Y.R. Pa ,  k 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas

김희주 ,  김교운 ,  홍종우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Effects of Etch Parameters on Etching of CoFeB Thin Films in CH₄/O₂/Ar Mix

Tea Young Lee ,  Il Hoon Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation

차주홍 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

A simple analysis on the abnormal behavior of the argon metastable density in an inductively coupled Ar plasma

박민 ,  유신재 ,  김정형 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Dry etching of SiC in inductively coupled $SF_6/O_2$ Plasma

Yim ,  Jeong-Hyuk ,  Lee 외 13명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Modeling of Inductively Coupled High Density Plasma Processes for the Fabrication of Semiconductor Devices

Jai Kwang Shin ,  Jae Joon Oh ,  Seong Gu Kim 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

마산 각섬석-흑운모 화강암의 연령 : 후기 백악기 정치연령

이태호 ,  박계헌 ,  김정민 외 1명

암석학회지

2017 .03

The Influence of O₂ Gas on the Etch Characteristics of FePt Thin Films in CH₄/O₂/Ar gas

Il Hoon Lee ,  Tea Young Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02