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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.2
- 수록면
- 83 - 83 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2003
평파형 고밀도 유도결합 BCl₃ 플라즈마를 이용한 AlGaAs와 InGaP의 건식식각
백인규
,
임완태
,
유승열
외 6명
한국표면공학회지
2003.08
학술저널
Comparison of High Density Plasma Etching of AlGaAs / GaAs and InGaP / GaAs in Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas
백인규
,
임완태
,
정필구
외 6명
한국진공학회 학술발표회초록집
2003.02
학술대회자료
$BCl_3$에 기초한 고밀도 유도결합 플라즈마에 의한 AlGaAs/GaAs 건식식각 비교
백인규
,
임완태
,
이제원
외 2명
한국재료학회 학술발표대회
2003.01
학술대회자료
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