Anisotropic Poly - Silicon Etch With Cl₂ / CH₃Br

이휘건; 이재봉; 윤석훈; 김충환; 곽규환

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저자정보: 이휘건 이재봉 윤석훈 김충환 곽규환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.2

수록면: 195 - 195 (1page)

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	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
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