High density plasma etching of MgO thin films in Cl₂/Ar gases

Y. B. Xiao; E. H. Kim; S. M. Kong; C. W. Chung

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Y. B. Xiao (인하대학교) E. H. Kim (인하대학교) S. M. Kong (인하대학교) C. W. Chung (인하대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 213 - 213 (1page)

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Y. B. Xiao

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E. H. Kim

소속기관 인하대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 66

S. M. Kong

소속기관 인하대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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Chee Won Chung

소속기관 Inha University

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