유도결합 Cl₂ / CHF₃, Cl₂ / CH₄, Cl₂ / Ar 플라즈마를 이용한 InGaN 건식 식각 반응기구 연구

이도행; 김현수; 염근영; 이재원; 김태일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이도행 김현수 염근영 이재원 김태일

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 249 - 249 (1page)

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