지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2000.7
- 수록면
- 152 - 152 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
BTMSM / O₂의 혼합된 precursor를 사용한 nano - pore의 유무기 하이브리드 구조 저유전 박막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
HDP - CVD 방법으로 증착한 Si - O - C(-H) 박막의 구조분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
Homoepitaxial growth of 4H-SiC by Hot-wall CVD using BTMSM
한국결정학회 학술연구발표회
2007 .01
-
Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
-
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
-
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
-
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
-
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
-
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
-
CVD precursor 잔존량 진단장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
-
CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구
Applied Science and Convergence Technology
2005 .09
-
비스실릴팔라듐(II) 및 백금(II)착물의 합성 및 확인
조선자연과학논문집
2009 .01
-
CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
-
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
-
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
-
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
Si기판 위에 증착 된 Co 박막 계면의 자기적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2012 .05
-
이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO / Si(111) 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
Toluene을 precursor로 사용한 plasma enhanced chemical vapor deposition에 의한 실리콘 집적회로용 저 유전상수(low - k) 유사중합체 유기박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018018693