CVD precursor 잔존량 진단장치 개발

이지훈; 윤주영; 성대진; 문두경; 신용현; 정광화

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이지훈 윤주영 성대진 문두경 신용현 정광화

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 181 - 181 (1page)

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이지훈

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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윤주영

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 109 이용수 8,102

성대진

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 63 이용수 2,354

문두경

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 157

신용현

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5%

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정광화

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 83 이용수 2,049

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-017334741

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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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