Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착

조정민; 조영옥; 윤원주; 이정근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조정민 조영옥 윤원주 이정근

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.7

수록면: 137 - 137 (1page)

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