Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해; 이석규; 김형준

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저자정보: 김윤해 이석규 김형준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 106 - 106 (1page)

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1999

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 , 이석규 , 김형준 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

1998

$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 , 이석규 , 김선우 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널

N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화

김윤해 , 이석규 , 엄명윤 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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