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ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO / Si(111) 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
Si기판 위에 증착 된 Co 박막 계면의 자기적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2012 .05
새로운 Ge 전구체의 CVD 증착 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
(CyOz)-SiHx 전구체로 중착된 저유전상수 유동박막의 산소 분압에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
사이클릭 화학 기상 증착법 (C-CVD: Cyclic Chemical Vapor Deposition) 기술을 이용한 코발트(Cobalt) 박막의 성장 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
Si(100)기판 위에 증착된 CeO₂(200)박막과 CeO₂(111)박막의 전기적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
TDEAT 단일 증착원을 이용한 TiN박막의 CVD Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
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