Homoepitaxial Growth on Ni(110) Surface

S.-J. Kahng ,  B.-Y. Choi ,  J. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Steering effect on the shape of islands for homoepitaxial growth Cu on Cu(100)

권수미 ,  김혜영 ,  김재성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Si(111)위에 homoepitaxial 성장중 중간금속 Ag, Sn이 미치는 영향.

이의완 ,  박동수 ,  곽호원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Thermal CVD법을 이용한 3C - SiC / 6H - SiC 이종박막 성장

장성주 ,  박주훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

BTMSM(Bis - TriMethyl Silyl Methane) Precursor로 CVD 증착한 SI-O-C 박막의 저유전율 특성연구

황무성 ,  김윤해 ,  이영석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

MICROWAVE PLASMA - ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF (001) HOMOEPITAXIAL DIAMOND FILMS

Naesung Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Thermal CVD 방법에 의한 SiC 동종박막 성장에 관한 연구

장성주 ,  설운학 ,  정준익 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Characterization of SiC nanowire synthesize by Thermal CVD

정민욱 ,  김민국 ,  송우석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

CVD 및 CVR에 의한 SiC 코팅기술 개발

유인근 ,  윤영훈 ,  박이현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

A study of improving filtration efficiency through SiC whisker synthesis on carbon felt by CVD VS method

김광주 ,  최두진

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

BTMSM / O₂의 혼합된 precursor를 사용한 nano - pore의 유무기 하이브리드 구조 저유전 박막의 특성분석

오데레사 ,  오경숙 ,  최치규

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Properties of low-k dielectrics of SiOCH thin film fabricated by changing BTMSM/O2 flow rates through the two dimensional correlation analysis

황창수 ,  김종욱 ,  김민석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

반도체 공정 장비 응용을 위한 다양한 분위기에서 증착된 CVD SiC의 열전특성 비교

김준규 ,  최유열 ,  최두진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

열 화학기상증착법을 이용한 탄화규소 나노선의 합성 및 특성연구

정민욱 ,  김민국 ,  송우석 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술

홍완식

진공이야기

2014 .09

CVD에 의한 흑연페블의 SiC 코팅기술 개발

유인근 ,  박이현 ,  안무영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Single source CVD of epitaxial 3C - SiC on Si(111) without carbonization

Kyung-Won Lee ,  Kyu-Sang Yu ,  Jung-Wook Bae 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1997 .06

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08