BTMSM(Bis - TriMethyl Silyl Methane) Precursor로 CVD 증착한 SI-O-C 박막의 저유전율 특성연구

황무성 ,  김윤해 ,  이영석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

저 유전 a-C:F 박막의 접착 특성에 관한 연구

김태언 ,  고호정 ,  양창실 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Homoepitaxial growth of 4H-SiC by Hot-wall CVD using BTMSM

Seo ,  Han-Seok ,  Song 외 9명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Properties of low-k dielectrics of SiOCH thin film fabricated by changing BTMSM/O2 flow rates through the two dimensional correlation analysis

황창수 ,  김종욱 ,  김민석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

유전 알고리즘

문병로

한국동물학회 학술대회

1998 .01

유전상수가 낮아지는 원인과 이온 분극의 효과

오데레사

Applied Science and Convergence Technology

2009 .11

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiO_x 박막연구

정유정 ,  윤정흠 ,  이성훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

SiO₂ 제로겔 박막의 기공율 변화가 저유전특성에 미치는 영향

홍정균 ,  김정호 ,  김홍률 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

유전과 환경

신형두

유전체소식

2006 .01

Toluene을 precursor로 사용한 plasma enhanced chemical vapor deposition에 의한 실리콘 집적회로용 저 유전상수(low - k) 유사중합체 유기박막의 증착 및 특성분석

주종량 ,  권영춘 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

신규 Ge precursor를 이용한 Ge 박막 및 GST 박막 제조와 특성 연구

한성원 ,  정재선 ,  성기환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Pulsed Laser Deposition을 이용한 Zn_0.4Fe_1.6O₃ 박막 합성과 그 결정구조 및 자기적 특성의 연구

장안나 ,  박창엽 ,  송종현

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .06

Enhancing some characteristic properties of magnetic micro-/nano- materials

Pham Duc Thang

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .05

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Sb 도핑된 anatase 및 rutile TiO_2-δ 박막의 전기적 특성

박영란 ,  김광주 ,  양우일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

산소결핍을 포함하는 SrTiO₃ 박막의 전기적특성

신현섭 ,  송종현

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2012 .05

펄스레이저 증착법으로 성장한 Ba_0.6Sr_0.4TiO₃ 박막의 산소 분압에 따른 유전특성

강대원 ,  곽민환 ,  김성일 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

얇은 다공 구조 박막에서의 두께에 따른 박막 저항 변화

송아리 ,  김철성 ,  고태준

한국자기학회지

2012 .02