PECVD PSG 의 유전 및 보호막 특성에 관한 연구

유현규 ,  강영일

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

PECVD PSG의 유전 및 보호막 특성에 관한 연구 ( Dielectric and Passivation-Related Properties of PECVD PSG )

유현규 ,  강영일

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

광집적회로를 위한 PSG 박막 특성에 관한 연구

김상덕 ,  윤중현 ,  이재규 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1993 .07

PSG층의 경사부식 ( Taper Etching of Phosphosilicate Glass ( PSG ) Layer )

이재균 ,  최연익 ,  장홍조

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

반도체 소자의 표면보호용 PSG/SiN 절연막의 스트레스 거동

김영욱 ,  신홍재 ,  하정민 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

스텝 커버리지를 위한 PSG와 금속처리 공정 조건의 개선 ( Optimization of PSG Flowing and Metallization for Step Coverage Improvement )

김도진 ,  이종덕

전자공학회지

1982 .12

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

OLED Passivation에 적용하기위해 PECVD법을 이용한 SiO₂ 박막 증착

이준희 ,  정창현 ,  임종태 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

선증착 과정에서 PSG 두께 변화에 따른 에미터 특성 분석

이희준 ,  강민구 ,  송희은

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2013 .05

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

XPS와 SIMS를 이용한 PSG/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2016 .10

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

MEMS용 PSG와 TEOS의 열처리에 따른 잔류응력 측정

李相佑 ,  李尙禹 ,  김종팔 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

Al-1%Si/SiO₂/PSG 적층 박막에서 potassium 게터링에 관한 연구

김진영

한국표면공학회지

2015 .10

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

열산화법 및 PECVD 법에 의한 T$a_2O_5$ 유전 박막

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 5명

한국재료학회지

1992 .01

반도체소자의 표면보호용 PSG, PE-SIN박막의 항균열특성에 대한 연구

하정민 ,  신홍재 ,  이수웅 외 2명

한국재료학회지

1993 .01