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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 및 실험 결과
3. 결론
[참고문헌]
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1998 .07
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MEMS 기술
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1984 .11
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1985 .03
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MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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2013 .05
기판 막질에 따른 $TEOS-O_3$ 산화막의 증착 특성
한국재료학회지
1992 .01
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies
한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium
2004 .01
생산기술로서의 MEMS
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MEMS 기술의 소개 및 응용
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
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2001 .10
MEMS 기술동향
전기의세계
2006 .10
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