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이용수
ABSTRACT
1, 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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반도체 소자의 표면보호용 PSG/SiN 절연막의 스트레스 거동
한국재료학회지
1991 .01
PSG층의 경사부식 ( Taper Etching of Phosphosilicate Glass ( PSG ) Layer )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
스텝 커버리지를 위한 PSG와 금속처리 공정 조건의 개선 ( Optimization of PSG Flowing and Metallization for Step Coverage Improvement )
전자공학회지
1982 .12
PECVD PSG 의 유전 및 보호막 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
PECVD PSG의 유전 및 보호막특성에 관한 연구 ( Dielectric and Passivation-Related Properties of PECVD PSG )
전자공학회지
1985 .03
PECVD PSG의 유전 및 보호막 특성에 관한 연구 ( Dielectric and Passivation-Related Properties of PECVD PSG )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
반도체소자의 표면보호용 PSG, PE-SIN박막의 항균열특성에 대한 연구
한국재료학회지
1993 .01
선증착 과정에서 PSG 두께 변화에 따른 에미터 특성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2013 .05
PSG 광도파박막에 제작된 광섬유 액세스용 파장 1.3μm , 1.5μm WDM Coupler의 설계 및 제작에 관한 연구 ( A Study on the Design and Fabrication of 1.3μm and 1.5μm WDM Coupler on the PSG Film for Optical Fiber Access )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
PSG 광도파 박막에 제작된 광섬유 액세스용 파장 1.3μm , 1.5μm WDM Coupler의 설계 및 제작에 관한 연구 ( A Study on the Design and Fabrication of 1.3μm and 1.5μm WDM Coupler on the PSG Film for Optical Fiber Access )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1993 .01
XPS와 SIMS를 이용한 PSG/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석
한국표면공학회지
2016 .10
MEMS용 PSG와 TEOS의 열처리에 따른 잔류응력 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
PSG와 BSG를 이용한 저온 레이저 도핑 방법에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
Al-1%Si/SiO₂/PSG 적층 박막에서 potassium 게터링에 관한 연구
한국표면공학회지
2015 .10
층간 절연막으로 쓰이는 PSG막의 P농도가 NMOS소자의 수율에 미치는 영향에 관한 연구 ( A Study on the Effect of P Concentrations of PSG Interlayers on the Yield Characteristics of the NMOS Devices )
전자공학회논문지
1989 .11
PSG 막의 급속열처리 방법을 이용한 LDD - Nmosfet 의 구조 제작에 관한 연구 ( A Study on the Structure Fabrication of LDD - Nmosfet using Rapid Thermal Annealing Method of PSG Film )
전자공학회논문지-A
1994 .12
Point Cloud기반의 Neural Network를 이용한 최적 파지 점 추출, PSG-DNN 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2020 .08
OPTIMIZATION OF P CONCENTRATION FOR THE IMPROVEMENT OF FLOW CHARACTERISTICS IN THE PSG INTERLAYERS OF NMOS DEVICES
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
단결정 실리콘 태양전지 도핑 확산 공정에서 주입되는 O₂ 가스와 PSG 유무에 따른 특성 변화
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2011 .04
집적회로의 박막과 신기술
대한전자공학회 기타 간행물
1968 .01
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