PSG층의 경사부식 ( Taper Etching of Phosphosilicate Glass ( PSG ) Layer )

이재균; 최연익; 장홍조

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이재균 최연익 (아주대학교) 장홍조

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제4권 1호

발행연도: 1985.1

수록면: 67 - 69 (3page)

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