Formation of transfer layer in friction of Si-containing hydrogenated carbon nitride films under oil lubricated condition

Kazutaka Kitazume ,  Hi ,  oyuki Kousaka 외 7명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

SYNTHESIS OF CARBON NITRIDE THIN FILMS BY PLASMA PROCESSING

Osamu Takai ,  Yusuke Taki ,  Toshihisa Kitagawa

한국표면공학회지

1996 .10

마그네트론 스터퍼에 의한 Carbon Nitride 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

朴球範

전기학회논문지 P

2003 .09

SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION

Yusuke TAKI ,  Osamu TAKAI

한국표면공학회지

1996 .10

고경도 전도성 수소함유 탄소 및 질화탄소 박막의 구조 및 물성에 관한 연구

명현식 ,  박용섭 ,  홍병유 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY OF Ch₄/Ar/H₂ GAS DISCHARGES IN RF PLASMA CVD OF HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON FILMS

Sung-Soo Lee ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동

김윤기 ,  김상권

한국표면공학회지

2011 .06

Hydrogenated Amorphous Carbon Film Prepared by Anode Layer Ion Source

Seunghun Lee ,  Ki-Taek Kim ,  Do-Geun Kim 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Heat Treatment with High Pressure Water Vapor of Hydrogenated Amorphous Silicon

Hi ,  oshi Sato ,  William Makoto Nakamu 외 10명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF PACVD에 의한 초경합금상에 다이아몬드 박막의 합성

金大一 ,  李常熙 ,  朴球範 외 5명

전기학회논문지 C

2000 .11

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

RF Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition of Diamond-like and Graphitic Carbon

이상로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1989 .11

Effects of Source Gas for Preparation of Carbon Nitride Using Microwave Plasma CVD

Masatoshi Inoue ,  Yukihi ,  o Sakamoto 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Synthesis of Carbon Nitride Films by Dual Microwave Plasma Source CVD

Osamu Ikai ,  Takayoshi Kiguchi ,  Ma 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성

이성필 ,  이지공

전기전자재료학회논문지

2003 .01

FE Properties of Carbon Nitride Prepared by Microwave Plasma CVD

Shunichi ,  o Komizo ,  Yukihi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07