탄탈륨 산화막과 플라즈마 실리콘 질화막의 이중 유전막에 관한 연구 ( A Study on the Multilayered Dielectric Film of Tantalum Pentoxide and Plasma Silicon Nitride )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

열적 성장된 실리콘 질화막위에 산화 탄탈륨 초박막의 형성 ( Formation of ultra-thin Ta2o5 film on thermal silicon nitrides )

이재성 ,  류창명 ,  강신원 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .11

산소결핍 탄탈륨 산화물을 활용한 탄탈륨 산질화물 및 질화물 합성

박종철 ,  피재환 ,  김유진 외 1명

한국분말야금학회지

2008 .01

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film Formed by Thermal Oxidation )

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

전자선 가열법으로 형성된 탄탈륨산화막의 유전 특성 ( Dielectric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film deposited by E-Beam Evaporation )

박현수 ,  전춘배 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

질화실리콘막을 사용한 표면보호층 구조에 관한 연구 ( Passivation Layer Structures with a Silicon Nitride Film )

이종무

전자공학회지

1985 .11

수소화-탈수소화법을 이용한 탄탈륨 스크랩으로부터 탄탈륨 분말 제조 연구

이지은 ,  이찬기 ,  박지환 외 1명

자원리싸이클링

2018 .01

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

In-situ Anneal of Silicon Nitride for the NO Capacitor Dielectric Film

Kang ,  S.H. ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구

주현성 ,  주승기

한국표면공학회지

1989 .12

탄탈륨 산화물의 마그네슘 가스환원에 의한 탄탈륨 금속분말 제조

이동원

한국분말야금학회지

2018 .01

다공질 실리콘 질화막의 제조 ( Fabrication of Porous Silicon Nitride )

조범무 ,  이용현 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

재산화된 질화 산화막의 전하 포획 특성 연구 ( A Study on the Charge Trapping Properties of ONO ( Oxide Nitride Oxide ) Dielectric Film )

이종순 ,  윤석범 ,  박광균 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

도핑한 산화막 및 질화막의 확산특성 ( Diffusion Characterization of Doped Oxide and Nitride Film )

이종덕 ,  김원찬 ,  민홍식 외 1명

전자공학회지

1985 .03

실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향

이정희 ,  이종현 ,  손병기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

증착 온도에 따른 Tantalum Oxide 막의 성질 변화 연구

박태서 ,  강창석 ,  권기원 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Charcteristics of Tantalum Pentoxide

홍영호 ,  박효덕 ,  전춘배 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .03

열CVD방법으로 증착시킨 탄탈륨 산화박막의 특성평가와 열처리 효과

남갑진 ,  박상규 ,  이영백 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

실리콘 질화막의 잔류 응력에 의한 실리콘 테두리를 지닌 초소형 거울의 변형에 관한 연구

진주영 ,  유승현 ,  배재성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10