플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구

주현성 ,  주승기

한국표면공학회지

1989 .12

다공질 실리콘 질화막의 제조 ( Fabrication of Porous Silicon Nitride )

조범무 ,  이용현 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

반사방지 특성을 통일시킨 실리콘 질화막 간의 패시베이션 특성 비교

김재은 ,  이경동 ,  강윤묵 외 2명

한국재료학회지

2016 .01

플라즈마 이온질화 공정온도에 따른 스테인리스강 질화층의 표면 특성

임경민 ,  김혜민 ,  이승효 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

실리콘 질화막의 잔류 응력에 의한 실리콘 테두리를 지닌 초소형 거울의 변형에 관한 연구

진주영 ,  유승현 ,  배재성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10

Enhancement of Photovoltaic performance in Dye - sensitized solar cells with the TiO₂ passivation layer

이정관 ,  정대영 ,  김영락 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

Effect of deposition rates of PECVD silicon nitride films on passivation for silicon solar cells

이준성 ,  임희진 ,  권순우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .05

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

고효율 실리콘 태양전지 개발을 위한 패시베이션 기술

박효민 ,  김현호 ,  강윤묵 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

질화처리의 기초와 질화계처리

이준연

열처리공학회지

2008 .01

고효율 결정질 실리콘 태양전지 적용을 위한 실리콘 산화막 표면 패시베이션

이준신 ,  전민한 ,  강지윤 외 4명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

실리콘 산화막의 두께에 따른 ALD Al₂O₃ 박막의 passivation 효과

김영도 ,  박성은 ,  탁성주 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

굴절률 가변에 따른 silicon nitride 박막의 항온/항습 신뢰성 연구

송규완 ,  장주연 ,  이준신

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

ECR 플라즈마 질화에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Formed by ECR Plasma Nitridation )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

A study on wafer surface passivation properties using hydrogenated amorphous silicon thin film

이승직 ,  김기형 ,  오동해 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

Effect of RF powers on the characteristic properties of high performance silicon nitride single layer permeation barriers

이준석 ,  김석현 ,  B.B. Sahu 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

INFLUENCE OF SURFACE FILM PROPERTIES ACCORDING TO VARYING RADIO FREQUENCY FOR CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELLS

Kyung Dong Lee ,  Soohyun Bae ,  Sungeun Pa 외 4명

AFORE

2012 .11