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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1993년도 추계종합학술대회 논문집 Vol.16 No.2
발행연도
1993.11
수록면
555 - 558 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1993

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구
최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1993.11 학술대회자료
2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구 ( A Study on The Reliability of 2-Step Sputtered / Anodized Ta2O2 Dielectric Films )
최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1993.11 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 전하포획/생성 모델링
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌

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