재산화된 질화 산화막의 전하 포획 특성 연구 ( A Study on the Charge Trapping Properties of ONO ( Oxide Nitride Oxide ) Dielectric Film )

이종순; 윤석범; 박광균; 오환술

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이종순 윤석범 박광균 오환술

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제14권 2호

발행연도: 1991.11

수록면: 291 - 294 (4page)

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