2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구 ( A Study on The Reliability of 2-Step Sputtered / Anodized Ta2O2 Dielectric Films )

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

연속 공정으로 형성된 탄탈륨 산화막 및 실리콘 질화막의 이중유전막에 관한 연구 ( A Study on the double-layered dielectric films of tantalum oxide and silicon nitride formed by in situ process )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1993 .01

탄탈륨 산화막과 플라즈마 실리콘 질화막의 이중 유전막에 관한 연구 ( A Study on the Multilayered Dielectric Film of Tantalum Pentoxide and Plasma Silicon Nitride )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

탄탈륨 산화물 다층 유전 박막의 전기적 특성에 관한 연구 ( Study on the Electric Characteristics of Ta2O5 Multi-dielectric Thin Films )

박주욱 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1991 .03

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

열처리 조건이 실리콘 기판위의 Ta2O5 박막에 미치는 영향

박성욱 ,  백용구

전자공학회지

1992 .05

실리콘 박막의 제조와 특성 평가

김준수

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

굴절률 가변에 따른 silicon nitride 박막의 항온/항습 신뢰성 연구

송규완 ,  장주연 ,  이준신

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

$Ta_2O_{5}$ 박막의 누설전류 및 유전특성과 박막응력

이재석 ,  양승기 ,  신상모 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )

이경하 ,  전정목 ,  이태진 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .05

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

p+ / n 접합이 형성된 Si ( 100 ) 기판위에 코발트 / 탄탈륨 이중박막을 이용한 극히 얇은 코발트실리사이드 박막의 성장 ( The Formation of an Ultra-thin Cobalt Silicide ( CoSi2 ) Layer on the Pre-Existing P+ / n Junction Using Co / Ta Bilayer )

변정수 ,  김우식 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

ECR plasma를 이용한 실리콘 산화 박막 성장 및 특성연구

안명환 ,  윤창주 ,  이기방 외 9명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09