ECR 플라즈마 질화에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Formed by ECR Plasma Nitridation )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

플라즈마 질화 기술과 그 응용분야에 대한 소개

문경일 ,  변철웅

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2010 .11

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

S45C강의 고주기 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

플라즈마 이온질화 공정온도에 따른 스테인리스강 질화층의 표면 특성

임경민 ,  김혜민 ,  이승효 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

다공질 실리콘 질화막의 제조 ( Fabrication of Porous Silicon Nitride )

조범무 ,  이용현 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

질화실리콘막을 사용한 표면보호층 구조에 관한 연구 ( Passivation Layer Structures with a Silicon Nitride Film )

이종무

전자공학회지

1985 .11

공구강의 표면특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이호종 ,  최한철

한국표면공학회지

2003 .04

탄탈륨 산화막과 플라즈마 실리콘 질화막의 이중 유전막에 관한 연구 ( A Study on the Multilayered Dielectric Film of Tantalum Pentoxide and Plasma Silicon Nitride )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

중탄소 스프링강(P)의 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

중탄소 스프링강(S)의 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

가스비와 두께 가변에 따른 실리콘질화막의 특성

박제준 ,  김진국 ,  이희덕 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2011 .11

실리콘 질화막의 잔류 응력에 의한 실리콘 테두리를 지닌 초소형 거울의 변형에 관한 연구

진주영 ,  유승현 ,  배재성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10

플라즈마 이온 질화 표면처리의 윤활 및 마모특성 ( Tribological Characteristics of Plasma Ion Nitriding Surface Treatment )

좌성훈 ,  김선교 ,  박주승

Tribology and Lubricants

1996 .12

질화처리의 기초와 질화계처리

이준연

열처리공학회지

2008 .01

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

The Corrosion and Electrical Properties of AISI 316L by Plasma Nitriding for PEMFC

Won Hyuk Hong ,  Dong Hoon Han ,  Jung Joong Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01