전자선 가열법으로 형성된 탄탈륨산화막의 유전 특성 ( Dielectric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film deposited by E-Beam Evaporation )

박현수; 전춘배; 이덕동; 김봉열

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박현수 전춘배 이덕동 김봉열

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제13권 1호

발행연도: 1990.7

수록면: 270 - 273 (4page)

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